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FD-SOI:芯片制造工艺向10nm技术节点发展的最佳选择
来源: 未知 发布时间: 2017-03-15 浏览次数:101
LaurentRemont 意法半导体嵌入式处理解决方案事业部副总裁、技术产品战略部总经理, Mar. 04, 2017 – 按照摩尔定律,芯片可容纳的晶体管数量每两年提高一倍。然而,摩尔定律不只是在同一颗芯片上将晶体管数量增加一倍的技术问题。摩尔定律暗示,随着芯片集成密度翻倍,功耗和性能都将会实现大幅度改进。在过去50年里,半导体工业一直按照摩尔定律发展,因为芯片的三个要素--价格、功耗和性能始终是在联动。
  
  在可预见的未来,半导体工业虽然能够继续证明摩尔定律的正确性,但是,当发展到当今最先进的28纳米技术节点以下时,却遭遇逆风阻挡前进步伐,因为在28纳米以后,技术复杂程度和制造成本都将大幅提升。综合考虑价格、功耗和性能三个要素,全耗尽型绝缘层上硅(FD-SOI)是芯片制造工艺向10纳米技术节点发展的最佳选择。
  
  对于芯片制造商、终端产品厂商和消费电子厂商,FD-SOI符合摩尔定律的三个要素的要求,而且是一个经过市场检验的解决方案,因为28纳米FD-SOI制造工艺现已投入量产。目前意法半导体正在部署14纳米的FD-SOI技术,预计2015年后投入量产,而10纳米FD-SOI技术还处于研发阶段。
  
  最终,成本是任何制造工艺能否带来投资收益的决定性因素。与传统的基板(bulk)CMOS制造工艺相比,FD-SOI是一项全新的技术,所用的晶片也稍贵,但是,更为简单的结构使其成为30纳米以下的技术节点中成本效益最高的制造工艺。如果采用28纳米技术制作一颗晶片,在相同的选件和金属层条件下,FD-SOI需要38个掩模,而某些基板CMOS则需要多达50个掩模。FD-SOI缩减制造工序15%,缩短交货期10%,这两大优点可大幅降低成本。此外,掩模数量和制造工序减少有助于提高产品良率,从而进一步降低成本。

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